两路输出电源，主加热和附加热。主加热250千瓦，附加热50千瓦。

锑化镓 EDR60单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器加热熔化多晶材料，直拉法生长单晶的设备，可用于生长锑化镓等半导体材料。EDR60晶体生长炉分机械与电气控制两大部分，机械部分包括炉室、上下传...

单晶炉作为材料科学和半导体行业的重要设备，具有以下主要特点：1. 高温稳定性：单晶炉能够提供稳定的高温环境，使晶体生长过程中的温度保持在..控制的范围内，确保晶体质量和结构的稳定性。2. 快速加热和冷却：单晶炉具备快速加热和冷却的能力，可在短时间内实现高温和室温之间的快速转换，提高生产效率和实验研究的灵活性。3. .....

硼检炉是采用刚性上下轴之间的同时运动，在高真空环境下，用高频电源对多晶硅加热熔化，用区熔法生长成品棒的设备。

1、磷检炉是采用刚性上下轴之间的同时运动，在惰性气体氩气保护环境下，用高频电源对多晶硅加热熔化，用区熔法生长成品棒的设备。