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详情内容 主要用于生长锑化物或其他晶体。设备的特点是，上轴采用不锈钢镀铬硬轴，加热方式采用直流电阻加热方式。
|
序号 |
参数 |
值 |
|
1 |
真空度 |
0.1Pa |
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2 |
正压 |
0.2MPa |
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3 |
可充气体 |
氮气或氩气 |
|
4 |
温度 |
1600℃（±0.1℃） |
|
5 |
籽晶拉速范围 |
0.1～10mm/hr |
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6 |
晶体升降快速范围 |
200 mm/min |
|
7 |
籽晶转速范围 |
0～20r/min |
|
8 |
坩埚升速范围 |
0.1～10mm/hr |
|
9 |
坩埚快速范围 |
200mm/min |
|
10 |
坩埚转速范围 |
0～20r/min |
